OLS4100 3D测量激光显微镜

奥林巴斯3D 测量激光显微镜广泛应用于不同行业的质量控制、研究和开发过程，它在激光显微领域树立了全新的标准。现在，为满足测量精度不断提高和测量范围日益扩大的需求，奥林巴斯推出了新型产品LEXT OLS4100。该产品不但可以让测量更加快速、简单，而且可以拍摄到更高画质的影像，大大突破了激光显微镜的界限。

OLS4100采用非接触式、无损、快速成像测量。激光扫描显微镜（LSM）采用的是低功率激光，不接触样品。因此，不像基于探针系统的接触式表面粗糙度仪那样存在损坏样品的风险。LSM无需前期的样品准备即可对样品进行测量。而且，将样品放置在载物台上之后，即可直接开始成像。LSM 采用更大数值孔径的物镜，和更小波长的光波，极大地提高了平面分辨率。并且通过高精度的激光控制技术，获得更为精确的样品表面形貌。根据拍摄到的图像，LSM 可以进行非常精确的XY 平面亚微米测量。在X,Y方向上LEXT OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。LSM 采用短波长半导体激光和独有的双共焦光学系统，会删除未聚焦区域的信号，只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。同时结合高精度的光栅读取能力，可以生成高画质的影像，实现精确的3D测量。使得LEXT OLS4100 在Z方向上达到了10 nm的高度分辨率。

■应用
 

LEXT OLS4100可用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D 表面形貌、2D 的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件；

生命科学

电子元件：光掩膜，微透镜，柔性电路板接触点，MEMS等

半导体：晶圆凸起，导光板，芯片焊点，导光板激光点等

原材料/金属加工：电镀金刚石工具，碳精棒，极细管，胶带等

纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量

LED行业

■技术参数

光源：405nm半导体激光 白色LED

检出系统：光电倍增管

变焦：光学变焦：1～8X，数码变焦：1～8X

分辨率：移动分辨率10nm，显示分辨率1nm

物镜转换器：6孔电动物镜转换器

物镜：100x，50x，20x，10x，5x等
XY载物台：100×100 mm（电动载物台），可选： 300×300 mm（电动载物台）

设备咨询联系人:

Ronnie Chen  +86-21-13651969369    +86-21-61533166  ronniechen@nanofocus.com.cn